Машина для оптического контроля пластин диаметром 2-4 дюймов перед процессом резки. Машина предназначена для оптического контроля полупроводниковых пластин перед процессом резки.
Обеспечивает высокоточную макроскопическую инспекцию внешнего вида пластин. Поддерживает функцию восстановления MAP-карт и оснащена роботом с двойным рычагом для бережной загрузки/выгрузки.
Модульная конструкция питающего блока позволяет интегрироваться с ручными, полуавтоматическими и полностью автоматическими микроскопами (Nikon, Olympus).
Области применения:
- Оптический контроль пластин малого диаметра (2–4 дюйма) перед операцией скрайбирования/резки.
-
Входной контроль качества на производствах полупроводниковых приборов.
-
Выявление дефектов поверхности и краёв: трещины, сколы, загрязнения, дефекты маркировки и др.
Преимущества:
- Полная автоматизация процесса загрузки и предварительной подготовки пластин.
-
Универсальность: работа с двумя типоразмерами пластин (2" и 4") в одной машине.
-
Модульность транспортного механизма – возможность интеграции в различные технологические линии или использования отдельно.
-
Совместимость с промышленными стандартами SEMI и SECS/GEM для бесшовной интеграции в автоматизированное производство.
-
Удобный ручной стол для точной доводки при визуальном контроле.
Комплектация:
По согласованию
Печать/PDF