Машина для оптического контроля пластин диаметром 4–6 дюймов и 6–8 дюймов перед операцией резки. Машина предназначена для оптического контроля полупроводниковых пластин перед процессом резки.
Обеспечивает высокоточную макроскопическую инспекцию внешнего вида пластин. Поддерживает функцию восстановления MAP-карт и оснащена роботом с двойным рычагом для бережной загрузки/выгрузки.
Модульная конструкция питающего блока позволяет интегрироваться с ручными, полуавтоматическими и полностью автоматическими микроскопами (Nikon, Olympus).
Области применения:
- Оптический контроль состояния пластин перед процессом резки.
-
Контроль на наличие дефектов: трещин, сколов, загрязнений, масляных пятен, дефектов герметичности, чернильных точек и проблем с разгерметизацией.
-
Использование на участках входного контроля качества на полупроводниковых заводах.
Преимущества:
- Двойной размерный ряд (4-6 и 6-8 дюймов) в одной конфигурации.
-
Автоматизация процесса загрузки с помощью робота.
-
Высокая гибкость: возможность интеграции с микроскопами разных типов (ручной, полуавтомат, автомат) за счет модульной конструкции.
-
Соответствие современным стандартам полупроводниковой автоматизации (SECS/GEM).
Комплектация:
По согласованию
Печать/PDF